X、Y轴压电陶瓷纳米台-上海纳动纳米位移技术有限公司

产品描述

PS2H40-015U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供大的多功能性，可以配置XY或XYZ运动，并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。

体积小，外形尺寸仅有40x40x30mm，具有高谐振频率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。

PS2H40-015U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。

产品特性

—高速响应，多轴定位

—短的响应时间

—亚纳米范围内的高分辨率

高度紧凑的设计带来卓越的性能

选配功能

—可定制孔位及转接装置

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可提供XYZ版本

应用领域

—原子力显微镜、扫描探针显微镜

—测量、计量

—光学探针、光学扫描、光束对准

—微流体技术

                 结构原理                                     位移特性                                     典型应用

PS2H30-015U系列技术参数