光催化氧化废气处理设备利用UV紫外线光束照射恶臭气体和TiO2光催化，催化裂解恶臭气体 的分子链结构，使有 机或无机恶臭化合物分子链，在紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
光催化氧化废气净化设备的特点：
（1）光催化氧化废气净化设备适合在常温下将废臭气体氧化成没有毒害的物质，适合处理高浓度、气量大、稳定性强的有毒有害气体。
（2）净化效率好：通过光催化氧化废气净化设备可直接将空气中的废臭气体氧化成没有毒害的物质，不留任何二次污染。
（3）绿色能源：光催化氧化废气净化设备利用人工紫外线灯管产生的真空波紫外光作为能源来驱动光催化剂，驱动氧化—还原反应，而且光催化剂在反应过程中并不消耗，利用空气中的氧作为氧化剂，可较好地降解有毒有害废臭气体成为光催化节约能源的特点。
（4）氧化性强：半导体光催化具有氧化性强的特点，对臭氧难以氧化的某些有 机物如三氯甲烷、四氯化炭、六氯苯、都能加以分解，所以对难以降解的有 机物具有特别意义，光催化的氧化剂是羟基自由基（OH-）和超氧离子自由基（O2-、0-），其氧化性高于常见的臭氧、双氧水、高锰酸钾、次氯酸等。
（5）广谱性：光催化氧化废气净化设备对从烃到羧酸的种类众多有 机物都作用，即使对原子有 机物如卤代烃、染料等也有很好的净化效果，只要经过一些时间的反应可达到较好的净化效果。
（6）使用时间长：在理论上，光催化剂的寿命是很长的，无需更换。
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